无尘室(clean room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,厂房无尘室设备定位怎么收费,而所给予---设计之房间。
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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
(1)ffu用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室,厂房无尘室设备定位怎么收费,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用ffu,工厂无尘室设备定位怎么收费,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,苏州无尘室设备定位怎么收费,但对ic工厂而言ffu系统的灵活性是重要的,因此当前ic工厂对过滤器满布率≤40%时,采用ffu系统已经普遍。
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